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真空

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MCVS 系列控制器

耐腐蚀真空质量流量控制器

MCVS 系列

  • 量程：0.5 SCCM 至 20 SLPM
  • 有效控制范围：满量程的 1% – 100%
  • 精度：高达 ±读数的 0.4% 和 ± 满量程的 0.2%
  • 兼容气体：128+ 预装气体，校准可选
  • 气动阀泄漏完整性：最大泄漏率为 1×10⁻⁹ATM-CC/秒（氦气）
  • 重复性：满量程的± 0.2%
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0.5 SCCM – 20 SLPM
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MC 系列手册
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操作手册 10v 固件
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操作手册 9v 固件 （2021）
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操作手册 8v 固件 （2020）
MCES 系列控制器

真空下耐腐蚀的 SEMI 规格气体控制

MCES 系列

  • 量程：0.5 SCCM 至 20 SLPM
  • 有效控制范围：满量程的 0.01% – 100%（10,000：1 的量程比）
  • 精度：高达 ±（读数的 0.4% + 满量程的 0.2%）
  • 128+ 预装气体（校准可选）
  • 重复性：±满量程的 0.2%
  • 工作温度：−10°C 至 +60°C
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0.5 SCCM – 20 SLPM
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MC 系列手册
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操作手册 10v 固件
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操作手册 9v 固件 （2021）
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SFF 系列控制器

在真空压力下控制气体，采用 SEMI 标准外形尺寸

SFF 系列

  • 量程：0.5 SCCM 至 20 SLPM
  • 有效控制范围：满量程的 0.01% – 100%（10,000：1 的量程比）
  • 精度：±读数的 0.5% 或 ± 满量程的 0.1%，以较大者为准
  • 98 种预装的可选气体校准
  • 工作温度： −10°C 至 +60°C
  • 机械加工配件，减少密封面
  • 替代 MCE 系列控制器
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0.5 – 5 SCCM
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10 SCCM – 20 SLPM
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MC 系列手册
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操作手册 10v 固件
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MCV 系列控制器

真空质量流量控制器

MCV 系列

  • 量程：0.5 SCCM – 20 SLPM （可选）
  • 有效控制范围：满量程的 0.01% – 100%（10,000：1 的量程比）
  • 精度：±读数的 0.5% 或 ± 满量程的 0.1%，以较大者为准
  • 98 种预装的可选气体校准
  • 集成气动阀
  • 气动阀泄漏完整性：最大泄漏率为 1×10⁻⁹ATM-CC/秒（氦气）
  • 重复性优于 ± (0.1% 读数 + 0.02% 满量程)
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0.5 – 5 SCCM
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应用

航空航天和国防
用于空气动力学测试的压力控制
液氢燃料系统在海事创新中的应用
用于海洋创新的液氢燃料系统
光电催化分解水研究
光电催化水分解研究
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