气体流量计

用于测量气体流量

超紧凑,适合 OEM 应用

热式 Basis 系列

  • 9 种气体可选
  • 量程:100 SCCM – 100 SLPM
  • 工作压力: 0 – 145 PSIG
  • 可用作歧管充气阵列

适用于大多数气体测量

层流 M 系列

  • 量程:0.5 SCCM – 12,000 SLPM (可选)
  • 工作压力:11.5 – 160 PSIA
  • 精度:高达 ±读数的 0.5%
  • 重复性:±(读数的 0.1% + 满量程的 0.02%)

应用

不确定哪种产品最适合您的应用?

支持

热式 Basis 系列

层流 M 系列

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