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气体流量控制器

用于控制气体流量

耐腐蚀真空质量流量控制器

MCVS 系列

量程：0.5 SCCM 至 20 SLPM
有效控制范围：满量程的 1% – 100%
精度：高达 ±读数的 0.4% 和 ± 满量程的 0.2%
兼容气体：128+ 预装气体，校准可选
气动阀泄漏完整性：最大泄漏率为 1×10⁻⁹ATM-CC/秒（氦气）
重复性：满量程的± 0.2%

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0.5 SCCM – 20 SLPM

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MC 系列手册

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操作手册 10v 固件

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操作手册 9v 固件（2021）

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操作手册 8v 固件（2020）

真空下耐腐蚀的 SEMI 规格气体控制

MCES 系列

量程：0.5 SCCM 至 20 SLPM
有效控制范围：满量程的 0.01% – 100%（10,000：1 的量程比）
精度：高达 ±（读数的 0.4% + 满量程的 0.2%）
128+ 预装气体（校准可选）
重复性：±满量程的 0.2%
工作温度：−10°C 至 +60°C

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0.5 SCCM – 20 SLPM

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MC 系列手册

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操作手册 10v 固件

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在真空压力下控制气体，采用 SEMI 标准外形尺寸

SFF 系列

量程：0.5 SCCM 至 20 SLPM
有效控制范围：满量程的 0.01% – 100%（10,000：1 的量程比）
精度：±读数的 0.5% 或 ± 满量程的 0.1%，以较大者为准
98 种预装的可选气体校准
工作温度： −10°C 至 +60°C
机械加工配件，减少密封面
替代 MCE 系列控制器

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10 SCCM – 20 SLPM

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真空质量流量控制器

MCV 系列

量程：0.5 SCCM – 20 SLPM （可选）
有效控制范围：满量程的 0.01% – 100%（10,000：1 的量程比）
精度：±读数的 0.5% 或 ± 满量程的 0.1%，以较大者为准
98 种预装的可选气体校准
集成气动阀
气动阀泄漏完整性：最大泄漏率为 1×10⁻⁹ATM-CC/秒（氦气）
重复性优于 ± (0.1% 读数 + 0.02% 满量程)

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10 SCCM – 20 SLPM

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在两种气流之间切换

MCT 系列

98 种气体
量程：0.5 SCCM – 3,000 SLPM （可选）
工作压力：11.5 – 160 PSIA
精度：±读数的 0.5% 或 ± 满量程的 0.1%，以较大者为准
可参考MC、耐腐蚀 MCS、低压降 MCW 或高压 MCQ 系列的产品规格。性能相同，但由于增加了阀门，尺寸会发生变化。

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用于双向流动应用

MCDW 系列

量程：0.5 SCCM – 500 SLPM （可选）
最大工作压力：60 PSIA
精度：高达 ± 总量程的 0.4%（从正满量程到负满量程）
控制范围：满量程的 0.5 – 100%（200：1 的量程比）
控制响应时间：100 ms
控制密闭腔体中的压力，测量流速（可用于泄漏检测）

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0.5 SCCM 至 500 SLPM

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双向控制流量

MCD 系列

量程：0.5 SCCM – 3,000 SLPM （可选）
工作压力：11.5 – 160 PSIA
精度：±读数的 0.5% 或 ± 满量程的 0.1%，以较大者为准
可以参考MC、耐腐蚀 MCS、低压降 MCW 或高压 MCQ 系列产品的参考规格。性能相同，但增加阀门后尺寸会变化。

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连续爆炸性气体环境中的高压质量流量控制

ISMCQ 系列

质量流量控制器
预装 98 种气体校准
量程：10 SCCM – 2 SLPM
工作压力：11.5 – 320 PSIA
精度：±读数的 0.6% 或 ± 满量程的 0.1%，以较大者为准
请参阅下面的证书

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10 SCCM – 2 SLPM

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安全安装手册

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电缆规格和安装指南

连续爆炸性气体环境中的超低压降质量流量控制

ISMCW Whisper™ 系列

质量流量控制器
预装 98 种气体校准
量程：0.5 SCCM – 50 SLPM
工作压力：60 PSIA
精度：±读数的 0.6% 或 ± 满量程的 0.1%，以较大者为准
最小压降：0.7 PSID

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0.5 SCCM – 50 SLPM

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安全安装手册

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电缆规格和安装指南

在连续爆炸性气体环境中实现耐腐蚀气体流量控制

ISMCS 系列

预装 128 种气体校准，包括腐蚀性物质
量程：0.5 SCCM – 250 SLPM
工作压力：11.5 – 160 PSIA（可选320 PSIA 高压）
精度：高达 ±读数的 0.4% 加上 ± 满量程的 0.2%

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0.5 SCCM – 250 SLPM

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安全安装手册

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电缆规格和安装指南

应用

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支持

MCVS 系列

MCES 系列

SFF 系列

MCV 系列

MCT 系列

MCDW 系列

MCD 系列

ISMCQ 系列

ISMCW Whisper™ 系列

ISMCS 系列

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