MCW 系列控制器

用于低压降的气体控制

MCW 系列

  • 量程:0.5 SCCM – 1,000 SLPM (可选)
  • 最大工作压力:60 PSIA
  • 精度:±读数的 0.6% 或 ± 满量程的 0.1%,以较大者为准
  • 有效控制范围:满量程的 0.5 – 100%(200:1 的量程比)
  • 控制响应速度:30 ms

应用

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支持

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