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耐腐蚀

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MCVS 系列控制器

耐腐蚀真空质量流量控制器

MCVS 系列

  • 量程：0.5 SCCM 至 20 SLPM
  • 有效控制范围：满量程的 1% – 100%
  • 精度：高达 ±读数的 0.4% 和 ± 满量程的 0.2%
  • 兼容气体：128+ 预装气体，校准可选
  • 气动阀泄漏完整性：最大泄漏率为 1×10⁻⁹ATM-CC/秒（氦气）
  • 重复性：满量程的± 0.2%
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0.5 SCCM – 20 SLPM
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MC 系列手册
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操作手册 10v 固件
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操作手册 9v 固件 （2021）
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操作手册 8v 固件 （2020）
MCES 系列控制器

真空下耐腐蚀的 SEMI 规格气体控制

MCES 系列

  • 量程：0.5 SCCM 至 20 SLPM
  • 有效控制范围：满量程的 0.01% – 100%（10,000：1 的量程比）
  • 精度：高达 ±（读数的 0.4% + 满量程的 0.2%）
  • 128+ 预装气体（校准可选）
  • 重复性：±满量程的 0.2%
  • 工作温度：−10°C 至 +60°C
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0.5 SCCM – 20 SLPM
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操作手册 10v 固件
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操作手册 9v 固件 （2021）
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ISMCS 系列流量控制器

在连续爆炸性气体环境中实现耐腐蚀气体流量控制

ISMCS 系列

  • 预装 128 种气体校准，包括腐蚀性物质
  • 量程：0.5 SCCM – 250 SLPM
  • 工作压力：11.5 – 160 PSIA（可选320 PSIA 高压）
  • 精度：高达 ±读数的 0.4% 加上 ± 满量程的 0.2%
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0.5 SCCM – 250 SLPM
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IS-Max 手册
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操作手册
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安全安装手册
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电缆规格和安装指南
MCS 系列控制器

耐腐蚀流量控制器

MCS 系列

  • 预装多达 130 种腐蚀性和非腐蚀性气体校准
  • 量程：0.5 SCCM  – 12,000 SLPM （可选）
  • 精度：高达 ±读数的 0.4% 和 ± 满量程的 0.2%
  • 控制范围：满量程的 1 – 100%
  • 控制响应速度：最快 30 ms
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0.5 SCCM – 12,000 SLPM
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MC 系列手册
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操作手册 10v 固件
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操作手册 9v 固件 （2021）
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应用

航空航天和国防
用于空气动力学测试的压力控制
液氢燃料系统在海事创新中的应用
用于海洋创新的液氢燃料系统
光电催化分解水研究
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