MCT 系列控制器

在两种气流之间切换

MCT 系列

  • 98 种气体
  • 量程:0.5 SCCM  – 3,000 SLPM (可选)
  • 工作压力:11.5 – 160 PSIA
  • 精度:±读数的 0.5% 或 ± 满量程的 0.1%,以较大者为准
  • 可参考MC、耐腐蚀 MCS、低压降 MCW 或高压 MCQ 系列的产品规格。性能相同,但由于增加了阀门,尺寸会发生变化。
MCDW 系列控制器

用于双向流动应用

MCDW 系列

  • 量程:0.5 SCCM – 500 SLPM (可选)
  • 最大工作压力:60 PSIA
  • 精度:高达 ± 总量程的 0.4%(从正满量程到负满量程)
  • 控制范围:满量程的 0.5 – 100%(200:1 的量程比)
  • 控制响应时间:100 ms
  • 控制密闭腔体中的压力,测量流速(可用于泄漏检测)
MCD 系列控制器

双向控制流量

MCD 系列

  • 量程:0.5 SCCM  – 3,000 SLPM (可选)
  • 工作压力:11.5 – 160 PSIA
  • 精度:±读数的 0.5% 或 ± 满量程的 0.1%,以较大者为准
  • 可以参考MC、耐腐蚀 MCS、低压降 MCW 或高压 MCQ 系列产品的参考规格。性能相同,但增加阀门后尺寸会变化。

应用

不确定哪种产品最适合您的应用?

支持

科里奥利质量流量技术如何工作?

层压差压质量流量技术如何工作?

什么是压降?

热式流量计如何工作?

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