带金属密封件的压力控制器

金属密封件,用于减少接液材料,具有 SEMI 标准外形尺寸
带金属密封件的压力控制器

位于亚利桑那州图森市的Alicat Scientific为PCX系列在工艺中需要金属密封的压力控制器用户扩展了选择范围。通过扩展,用户可以将接液材料限制为 316L 钢,以及 PCTFE、FFKM 或 EPDM,这意味着它们与许多腐蚀性气体兼容。任何流速的占地面积都符合 SEMI 设备标准,使半导体设备的重新利用、翻新和改装变得容易。®

通信选项包括模拟 4-20mA 等,或数字控制和报告。数字解决方案包括 MODBUS RTU、多种基于以太网的工业协议(如 EtherNet/IP 和 EtherCAT)或低成本附加功能 IO-Link。PCX系列压力控制器配备了Alicat的多变量LCD显示屏和手动控制界面。这些仪器具有强大而可靠的性能,可控制 500 TorrA 至 100 PSIA 的气体压力,外部泄漏完整性为 1e-10 atm cc/sec。使用高精度选项时,精度可达满量程的 0.125%,重复性可达满量程的 0.025%。PCX 系列产品线享有 Alicat 的终身有限保修。

Alicat Scientific 压力控制器产品线扩展

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