气体流量控制器
常规
适用于气体质量流量的测量和控制
Alicat的旗舰控制器
常规MC系列
- 量程：0.5 SCCM – 12,000 SLPM（可选）
- 工作压力：11.5 – 160 PSIA
- 精度：±读数的 0.5% 或 ± 满量程的 0.1%，以较大者为准
- 控制范围：0.01% – 100% 满量程（量程比为10,000：1 ）
- 控制响应速度：最快 30 ms
紧凑型质量流量控制器
热式BASIS系列
- MEMS热式质量流量控制器
- 9 种气体
- 量程：100 SCCM – 100 SLPM
- 工作压力： 0 – 145 PSIG
- 可作为歧管或充气阵列提供
- 精度：可达读数的 1.5% 或满量程的 0.2%，以较大者为准
- 集成比例控制阀
- 控制响应速度：高达 100 毫秒
- 方便的LED显示状态
- 轻松自动化
使用多个设备节省空间
BASIS系列紧凑型歧管
- MEMS热式质量流量控制器
- 9 种气体
- 量程：100 SCCM – 100 SLPM
- 工作压力： 0 – 145 PSIG
- 可作为歧管或充气阵列提供
- 精度：可达读数的 1.5% 或满量程的 0.2%，以较大者为准
- 集成比例控制阀
- 控制响应速度：高达 100 毫秒
- 方便的 LED显示状态
- 根据您的工艺流程定制
- 轻松连接到 PC 或 PLC
控制气体进入生物反应器 + 发酵罐
BIOC 生物系列
- 长期稳定性
- 坚固、合规的材料，包括 USP VI 级或 USPVI 弹性体
- 专为可扩展性而设计（10, 000 : 1 的量程比）
耐腐蚀
适用于腐蚀性气体质量流量的测量和控制
耐腐蚀流量控制器
MCS 系列
- 预装多达 130 种腐蚀性和非腐蚀性气体校准
- 量程：0.5 SCCM – 12,000 SLPM （可选）
- 精度：高达 ±读数的 0.4% 和 ± 满量程的 0.2%
- 控制范围：满量程的 1 – 100%
- 控制响应速度：最快 30 ms
在连续爆炸性气体环境中实现耐腐蚀气体流量控制
ISMCS 系列
- 预装 128 种气体校准，包括腐蚀性物质
- 量程：0.5 SCCM – 250 SLPM
- 工作压力：11.5 – 160 PSIA（可选320 PSIA 高压）
- 精度：高达 ±读数的 0.4% 加上 ± 满量程的 0.2%
真空下耐腐蚀的 SEMI 规格气体控制
MCES 系列
- 量程：0.5 SCCM 至 20 SLPM
- 有效控制范围：满量程的 0.01% – 100%（10,000：1 的量程比）
- 精度：高达 ±（读数的 0.4% + 满量程的 0.2%）
- 128+ 预装气体（校准可选）
- 重复性：±满量程的 0.2%
- 工作温度：−10°C 至 +60°C
耐腐蚀真空质量流量控制器
MCVS 系列
- 量程：0.5 SCCM 至 20 SLPM
- 有效控制范围：满量程的 1% – 100%
- 精度：高达 ±读数的 0.4% 和 ± 满量程的 0.2%
- 兼容气体：128+ 预装气体，校准可选
- 气动阀泄漏完整性：最大泄漏率为 1×10⁻⁹ATM-CC/秒（氦气）
- 重复性：满量程的± 0.2%
高压
适用于高压环境气体质量流量的测量和控制
在较高压力下控制气体流量
MCQ 系列
- 量程：10 SCCM – 12,000 SLPM （可选）
- 工作压力：11.5 – 320 PSIA
- 精度：±读数的 0.6% 或 ± 满量程的 0.1%，以较大者为准
- 有效控制范围：满量程的0.5% – 100%（200：1 的量程比）
- 控制响应速度：100 ms
低压损
用于低压降气体质量流量的测量和控制
用于低压降的气体控制
MCW 系列
- 量程：0.5 SCCM – 1,000 SLPM （可选）
- 最大工作压力：60 PSIA
- 精度：±读数的 0.6% 或 ± 满量程的 0.1%，以较大者为准
- 有效控制范围：满量程的 0.5 – 100%（200：1 的量程比）
- 控制响应速度：30 ms
防爆安全
具有多种防爆认证的气体质量流量测量和控制
用于连续爆炸性气体环境中的气体流量控制
ISMC 系列
- 预装 98 种气体校准
- 量程：0.5 SCCM – 250 SLPM
- 工作压力：11.5 – 160 PSIA（可选320 PSIA 高压）
- 精度：±读数的 0.5% 或 ± 满量程的 0.1%，以较大者为准
在连续爆炸性气体环境中实现耐腐蚀气体流量控制
ISMCS 系列
- 预装 128 种气体校准，包括腐蚀性物质
- 量程：0.5 SCCM – 250 SLPM
- 工作压力：11.5 – 160 PSIA（可选320 PSIA 高压）
- 精度：高达 ±读数的 0.4% 加上 ± 满量程的 0.2%
连续爆炸性气体环境中的超低压降质量流量控制
ISMCW Whisper™ 系列
- 质量流量控制器
- 预装 98 种气体校准
- 量程：0.5 SCCM – 50 SLPM
- 工作压力：60 PSIA
- 精度：±读数的 0.6% 或 ± 满量程的 0.1%，以较大者为准
- 最小压降：0.7 PSID
连续爆炸性气体环境中的高压质量流量控制
ISMCQ 系列
- 质量流量控制器
- 预装 98 种气体校准
- 量程：10 SCCM – 2 SLPM
- 工作压力：11.5 – 320 PSIA
- 精度：±读数的 0.6% 或 ± 满量程的 0.1%，以较大者为准
- 请参阅下面的证书
双阀双向
双阀双向的层流差压质量流量控制器
双向控制流量
MCD 系列
- 量程：0.5 SCCM – 3,000 SLPM （可选）
- 工作压力：11.5 – 160 PSIA
- 精度：±读数的 0.5% 或 ± 满量程的 0.1%，以较大者为准
- 可以参考MC、耐腐蚀 MCS、低压降 MCW 或高压 MCQ 系列产品的参考规格。性能相同，但增加阀门后尺寸会变化。
用于双向流动应用
MCDW 系列
- 量程：0.5 SCCM – 500 SLPM （可选）
- 最大工作压力：60 PSIA
- 精度：高达 ± 总量程的 0.4%（从正满量程到负满量程）
- 控制范围：满量程的 0.5 – 100%（200：1 的量程比）
- 控制响应时间：100 ms
- 控制密闭腔体中的压力，测量流速（可用于泄漏检测）
在两种气流之间切换
MCT 系列
- 98 种气体
- 量程：0.5 SCCM – 3,000 SLPM （可选）
- 工作压力：11.5 – 160 PSIA
- 精度：±读数的 0.5% 或 ± 满量程的 0.1%，以较大者为准
- 可参考MC、耐腐蚀 MCS、低压降 MCW 或高压 MCQ 系列的产品规格。性能相同，但由于增加了阀门，尺寸会发生变化。
真空
真空条件下的层流差压质量流量控制器
真空质量流量控制器
MCV 系列
- 量程：0.5 SCCM – 20 SLPM （可选）
- 有效控制范围：满量程的 0.01% – 100%（10,000：1 的量程比）
- 精度：±读数的 0.5% 或 ± 满量程的 0.1%，以较大者为准
- 98 种预装的可选气体校准
- 集成气动阀
- 气动阀泄漏完整性：最大泄漏率为 1×10⁻⁹ATM-CC/秒（氦气）
- 重复性优于 ± (0.1% 读数 + 0.02% 满量程)
在真空压力下控制气体，采用 SEMI 标准外形尺寸
SFF 系列
- 量程：0.5 SCCM 至 20 SLPM
- 有效控制范围：满量程的 0.01% – 100%（10,000：1 的量程比）
- 精度：±读数的 0.5% 或 ± 满量程的 0.1%，以较大者为准
- 98 种预装的可选气体校准
- 工作温度： −10°C 至 +60°C
- 机械加工配件，减少密封面
- 替代 MCE 系列控制器
真空下耐腐蚀的 SEMI 规格气体控制
MCES 系列
- 量程：0.5 SCCM 至 20 SLPM
- 有效控制范围：满量程的 0.01% – 100%（10,000：1 的量程比）
- 精度：高达 ±（读数的 0.4% + 满量程的 0.2%）
- 128+ 预装气体（校准可选）
- 重复性：±满量程的 0.2%
- 工作温度：−10°C 至 +60°C
耐腐蚀真空质量流量控制器
MCVS 系列
- 量程：0.5 SCCM 至 20 SLPM
- 有效控制范围：满量程的 1% – 100%
- 精度：高达 ±读数的 0.4% 和 ± 满量程的 0.2%
- 兼容气体：128+ 预装气体，校准可选
- 气动阀泄漏完整性：最大泄漏率为 1×10⁻⁹ATM-CC/秒（氦气）
- 重复性：满量程的± 0.2%
